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FUTUR
ALMATEC · 특수 용도 AODD 펌프FUTUR
Almatec®은 1984년부터 반도체 산업의 약액 공급·순환용 특수 펌프를 제조해 왔으며, 직선 관통형(straight-through) 유동 패턴 기술을 적용한 Almatec FUTUR 시리즈 공기구동식 더블 다이어프램(AODD) 펌프는 이러한 용도의 특수 요건에 적합합니다. FUTUR 시리즈 펌프는 자흡식·건운전 가능하며, 부품 수가 적은 컴팩트하고 단순한 설계를 갖추고 있습니다.
주요 사양
| 모델 | FUTUR 10, FUTUR 20, FUTUR 50, FUTUR 100 |
|---|---|
| 호칭 구경 | 3/8" / 1/2" / 1" / 1 1/4" |
| 최대 유량 | 10 ~ 100 L/min (모델별) |
| 최대 구동·작동 압력 | 6 bar |
아래 모델별 사양표의 요약입니다. 모델별 값은 아래 표를 확인하세요.
모델별 사양
| 항목 | FUTUR 10 | FUTUR 20 | FUTUR 50 | FUTUR 100 |
|---|---|---|---|---|
| 펌프 치수, mm (inch) | ||||
| 길이 | 185 (7.3) | 201 (7.9) | 246 (9.7) | 303 (11.9) |
| 폭 | 114 (4.5) | 150 (5.9) | 200 (7.9) | 260 (10.2) |
| 높이 | 131 (5.2) | 168 (6.6) | 216 (8.5) | 266 (10.5) |
| 댐퍼 포함 펌프 치수, mm (inch) | ||||
| 길이 | 185 (7.3) | 201 (7.9) | 246 (9.7) | 303 (11.9) |
| 폭 | 136 (5.4) | 161 (6.4) | 215 (8.5) | 286 (11.3) |
| 높이 | 246 (9.7) | 283 (11.1) | 348 (13.7) | 429 (16.9) |
| 호칭 구경 (NPT) | 3/8" | 1/2" | 1" | 1 1/4" |
| 공기 접속 (NPT) | 1/4" | 1/4" | 1/4" | 1/4" |
| 흡입 양정(건식), mWC (ft.) | 1 (3.3) | 2.5 (8.2) | 3.5 (11.5) | 4 (13.1) |
| 흡입 양정(습식), mWC (ft.) | 8 (26.2) | 9 (29.5) | 9 (29.5) | 9 (29.5) |
| 최대 허용 구동 압력, bar (psig) | 6 (87) | 6 (87) | 6 (87) | 6 (87) |
| 최대 유량, l/min (gpm) | 10 (2.6) | 20 (5.3) | 50 (13) | 100 (26) |
FUTUR 스테인리스강 모델의 기술 데이터는 요청 시 제공됩니다. 최대 허용 작동 온도(모델별): 최대 6 bar (87 psig) — FUTUR H 100°C/212°F, FUTUR T 100°C/212°F, FUTUR E 70°C/158°F; 최대 5 bar (73 psig) — H 130°C/266°F, T 110°C/230°F, E 70°C/158°F; 최대 4 bar (58 psig) — H 150°C/302°F, T 120°C/248°F, E 70°C/158°F; 최대 3 bar (44 psig) — H 180°C/356°F, T 130°C/266°F, E 70°C/158°F; 최대 2 bar (29 psig) — H 200°C/392°F, T 130°C/266°F, E 70°C/158°F.
제품 특징
- 용도별 5가지 재질 버전(T/H/E/S/F)
- 모든 플라스틱 모델에 금속 미포함
- 온도 범위 최대 200ºC (392ºF)
- 제품 챔버 사이의 특허받은 비접촉식 캐스케이드 실링
- 접액부에 O-링 실링 없음
- 직선 관통형 유동 패턴, 접액 하우징 부품 단 1개
- 무보수 PERSWING P® 공기 제어 시스템
- 내부 공기 유로
- 플레이트와 가스켓이 없는 다이어프램, 최적화된 다이어프램 형상
- 면 실링 방식 실린더 밸브
- 분해·조립 용이
- 타이 로드, 너트, 클램프 등 고정 요소 없음
- 모든 재질·사이즈에 별도 맥동 댐퍼 공급
- 다이어프램 및/또는 스트로크 센서 간편 후장착 가능
- 낮은 소음 수준
재질
| 부품 | 재질 |
|---|---|
| 접액 센터 하우징 | PTFE, PE, SS316L (모델에 따라 다름) |
| 비접액 사이드 하우징 | PTFE, PE, PE 전도성, SS316 (모델에 따라 다름) |
| 다이어프램 | PTFE |
| 실린더 밸브 | PTFE, PE (모델에 따라 다름) |
적용 분야
적용 분야반도체 산업 약액 공급·순환, 산·알칼리(최대 130°C, FUTUR T), 고온 산·알칼리(최대 200°C, FUTUR H), 슬러리(FUTUR E), 용제(FUTUR S/SH)
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자료 출처: PSG Almatec 공식 사이트