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CFD 시리즈
IWAKI · 에어 구동 벨로즈 펌프 · 반도체 공정용CFD 시리즈
웨이퍼 세정액 농도 관리에 최적 · 우수한 내약품성
주요 사양
| 모델 | CFD-1T-B | CFD-8T-B |
|---|---|---|
| 최대 토출량 | 1 mL/shot ※1 | 8 mL/shot ※2 |
| 최고 토출 압력 | 0.05 MPa | |
| 공급 에어 압력 | 0.15~0.3 MPa | |
| 최대 에어 소비량 | 2.5 NL/min | 5.4 NL/min |
| 최대 스트로크 수 | 30 spm | |
| 주요 재질 | PTFE, PFA, PCTFE | |
| 액온 범위 | 20 – 60°C | |
- ※1 공장 출하 설정값이며 0.4~2.7 mL/shot 범위에서 변경할 수 있습니다.
- ※2 공장 출하 설정값이며 7~10 mL/shot 범위에서 변경할 수 있습니다.
모델별 상세 값은 아래 카탈로그 사양표를 확인하세요.
상세 사양표 (제조사 카탈로그)
제품 특징
- 웨이퍼 세정액 농도 관리에 최적필요한 최소량의 약액을 정확하게 토출합니다. 웨이퍼 세정액의 농도 관리에 최적입니다. 농도 오버슈트를 방지하여 세정액 비용 절감에 기여합니다.
- 우수한 내약품성접액부 전체가 불소수지(PTFE, PFA, PCTFE)로 제작되어 강산, 강알칼리, 과산화수소 등의 약품에 대응합니다. 펌프 외부 부품은 수지제이며 볼트는 코팅 처리되어 있습니다.
- 안전 설계압축 공기로 안전하게 구동되는 에어 구동 벨로즈 펌프입니다. 사이펀 방지 기구가 약액 유출을 방지합니다. CFD-1T-B에는 벨로즈 파손을 검출하는 누액 센서가 표준 장착되어 있습니다.
- 넓은 토출량 조정 범위토출량을 넓은 범위에서 유연하게 조정할 수 있습니다. 출하 시 기본 설정은 CFD-1T-B: 1 mL/shot, CFD-8T-B: 8 mL/shot입니다.
자료 다운로드
자료 출처: IWAKI 본사 글로벌 사이트 · 제품 구성·자료: 이와끼코리아