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FA 시리즈

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IWAKI FA 시리즈
IWAKI · 에어 구동 벨로즈 펌프 · 반도체 공정용

FA 시리즈

중온액용 · 소유량(FA-2)·대유량(FA-40) 2타입

견적·기술문의목록

주요 사양

FA 시리즈

형식FA-2 / FA-40
최대 토출량2 L/min / 40 L/min
공급 에어 압력 범위0.2~0.4 MPa / 0.1~0.4 MPa
최대 에어 소비량50 NL/min / 200 NL/min
최대 스트로크 수150 spm / 80 spm
주요 재질PTFE, PFA
액온 범위5 ~ 100°C

모델별 상세 값은 아래 카탈로그 사양표를 확인하세요.

상세 사양표 (제조사 카탈로그)

FA 시리즈 사양표 F_Catalog.pdf p.9 (2024판)
출처: IWAKI 공식 카탈로그 F_Catalog.pdf p.9 (2024판)

제품 특징

  • 중온 사양 2타입FA-2형은 가로형 소유량 타입, FA-40형은 세로형 대유량 타입이며 둘 다 중온액용입니다.
  • 두꺼운 벨로즈FA-40형은 두꺼운 벨로즈를 채용해 내압성이 뛰어나고 장기 연속 운전에도 견디도록 설계했습니다.
  • 센서 구동 방식펌프는 센서 구동 방식으로 작동하며, 리크 센서를 표준으로 갖추었습니다.

적용 분야

FA-2스프레이 방식 매엽 처리
FA-40200/300mm 웨이퍼 세정

자료 다운로드

F_Catalog.pdf카탈로그 · 731.6 KB · 공식 링크FA_Manual.pdf취급설명서 · 716.23 KB · 공식 링크
자료 출처: 이와끼코리아 제품 페이지·카탈로그
이와끼코리아 제품 페이지