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FS 시리즈
IWAKI · 에어 구동 벨로즈 펌프 · 반도체 공정용FS 시리즈
대유량 이송 · 고압 토출
주요 사양
에어 구동 벨로즈 펌프 FS-N 시리즈
| 최대 토출량 | 100 L/min |
|---|---|
| 공급 공기 압력 | 0.2~0.7 MPa |
| 액온 범위 | 5~60°C |
| 최대 공기 소비량 | 1495 NL/min |
| 최대 스트로크 속도 | 200 spm |
| 주요 재질 | PTFE, PFA |
에어 구동 벨로즈 펌프 FS-H 시리즈
| 최대 토출량 ※1 | 55 L/min |
|---|---|
| 공급 공기 압력 범위 | 0.15 ~ 0.5 MPa |
| 액온 범위 | 5 ~ 180°C |
| 최대 공기 소비량 | 670 NL/min |
| 최대 스트로크 수 ※2 | 240 spm |
| 주요 재질 | PTFE, PFA |
에어 구동 벨로즈 펌프 FS-100HT2
| 최대 토출량 ※ | 100 L/min |
|---|---|
| 공급 공기 압력 | 0.15~0.5 MPa |
| 액온 범위 | 10~180°C |
| 최대 공기 소비량 | 1210 NL/min |
| 최대 스트로크 속도 ※ | 120 spm |
| 주요 재질 | PTFE, PFA |
- ※1 최대 토출량은 20 °C 청수 이송 시 값입니다.
- ※2 공급 공기압 0.3~0.5 MPa에서 최대 180 spm입니다.
- ※ (FS-100HT2) 최대 토출량은 20 °C 청수 이송 시 값입니다.
모델별 상세 값은 아래 카탈로그 사양표를 확인하세요.
상세 사양표 (제조사 카탈로그)
제품 특징
- 대유량 이송
- 고압 토출
- 소형·경량
- 저비용고유량·고압의 약액 공급 요구에 최적입니다. 높은 스트로크 속도(최대 200 spm: FS-80NT)로 유량과 압력 성능을 희생하지 않고 소형·경량·저비용을 실현했습니다. 모든 접액부는 고순도 불소수지로 제작되어 오염 없는 구조입니다. 독자적인 축 씰(FS-80NT)로 파티클 발생도 크게 줄였습니다. 내장 근접 센서 방식의 제어 시스템으로 외부 에어 솔레노이드 밸브를 전환합니다. 누액 센서도 표준 장비로 포함됩니다. 펌프 헤드와 벨로즈를 씰 용접하여 누설을 없앴습니다.
적용 분야
FS-H 시리즈웨트 프로세스 순환 및 CMP 공정, 약액 공급 시스템
자료 다운로드
자료 출처: IWAKI 본사 글로벌 사이트 · 제품 구성·자료: 이와끼코리아