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FW / FW-H 시리즈
상세 사양표 (제조사 카탈로그)
제품 특징
- 고압·장수명두꺼운 벨로즈를 채용해 최대 0.45 MPa의 고압 토출이 가능합니다. 벨로즈 수명은 다이어프램 타입의 3~4배로 길어 다운타임을 크게 줄일 수 있습니다.
- 중온 타입과 고온 타입중온 사양(10~100°C)의 FW형은 약품 공급용으로, 고온 사양(10~180°C)의 FW-H형은 세정 장치의 순환 펌프로 사용할 수 있습니다.
- 센서 구동 방식펌프는 센서 구동 방식으로 작동하며, 리크 센서를 표준으로 갖추었습니다.
적용 분야
FW (고압·중온)약액 공급, 세정 장치·CMP 슬러리 순환
FW-H (고압·고온)세정 장치 순환
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자료 출처: 이와끼코리아 제품 페이지·카탈로그