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PDS 시리즈
IWAKI · 정량 펌프 · 모터 구동 · 포토레지스트 디스펜스PDS 시리즈
레지스트 대폭 절감 · 오염 방지
주요 사양
튜브프램 디스펜싱 펌프 PDS-105R
| 최대 토출량 | 5.0 mL/shot |
|---|---|
| 토출 속도 | 0.1 – 4.0 mL/sec |
| 흡입 속도 | 0.1 – 3.0 mL/sec |
| 최고 토출 압력 | 0.15 MPa |
| 토출 정밀도 | ±0.3% (F.S.) |
| 주요 재질 | PFA, PTFE |
| 최대 액 점도 | 200 mPa·s |
벨로즈 디스펜싱 펌프 PDS-H115
| 최대 토출량 | 12.0 mL/shot |
|---|---|
| 토출 속도 | 0.5 ~ 2.0 mL/sec |
| 흡입 속도 | 0.3 ~ 2.0 mL/sec |
| 최고 토출 압력 | 1.0 MPa |
| 토출 정밀도 | ±0.3% (F.S.) |
| 주요 재질 | PTFE |
| 최대 액 점도 | 10,000 mPa·s |
모델별 상세 값은 아래 카탈로그 사양표를 확인하세요.
상세 사양표 (제조사 카탈로그)
제품 특징
- 레지스트 대폭 절감고토크 스테핑 모터를 구동원으로 사용하여 필터 막힘이나 점도 변화에 영향받지 않고 일정한 토출량을 유지합니다. 토출 반복 정밀도(0.3%)를 유지합니다. • 토출 정밀도: ±0.3% (F.S.) • 직선성: ±0.5% (F.S.) • 분해능: 0.01 mL
- 오염 방지펌프부는 튜브프램 구조로, 접액 내면이 평탄·매끄럽고 데드 볼륨이 작습니다. 레지스트액이 체류할 곳이 거의 없어 파티클 발생을 방지합니다.
- 다양한 코팅 공정에 대응1샷 내에서 토출 속도를 자유롭게 변경할 수 있어, 극미량 도포나 극단시간 도포를 포함한 다양한 레지스트 코팅 공정에 대응합니다.
- 다운타임 단축컨트롤러에 값을 입력하는 것만으로 토출량과 토출 시간을 설정할 수 있습니다. 작업자의 시간과 노력을 줄이고 다운타임을 단축합니다.
- LED·MEMS 생산용 고점도 포토레지스트에 적합LED 및 MEMS 등의 제조 공정에서 사용되는 최대 10,000 mPa·s 점도에 대응합니다. 전해액 충전에도 사용할 수 있습니다.
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자료 출처: IWAKI 본사 글로벌 사이트 · 제품 구성·자료: 이와끼코리아