SB 시리즈

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제품 특징

• 고정밀SB 시리즈 디스펜서는 포토레지스트 등의 약액을 정밀하게 계량·토출합니다. 1회 토출량이 매우 정확하여 최적량의 포토레지스트 도포를 보장합니다. 옵션인 석백(suck-back)을 사용하면 주입 노즐의 액 떨어짐을 방지할 수 있습니다. 벨로즈 내 데드 볼륨이 거의 없어 액 체류 가능성을 최소화합니다. 씰리스 및 초저속 실린더 설계로 기포 혼입 가능성이 적은 저속 포토레지스트 토출이 가능합니다.
• 스테인리스/불소수지 접액부액에 따라 스테인리스(SUS304) 및 불소수지(PTFE/PFA) 접액부를 선택할 수 있으며, 우수한 내식성과 무오염 이송을 보장합니다. 고해상도·고순도 포토레지스트 이송에 가장 적합합니다.
• 경량·소형 설계수직·수평 양방향 설치가 가능하여(SB-4K/-5/-6 제외) 최적의 시스템 구성이 가능하며, 제한된 설치 공간에도 장착할 수 있을 만큼 소형입니다. 또한 토출량을 미세 조정하는 기계식 스토퍼와 실린더 내 피스톤의 정확한 동작을 확인하는 위치 검출기를 옵션으로 제공합니다.

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