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반도체 공정
15개 제품 · 제조사 제품 분류·적용 분야 표기 기준
IWAKI
MDE 시리즈
마그네트 펌프 · 토출량 1500~4000 L/min강력한 내식성 · 백 풀아웃 구조
IWAKI
RD 시리즈
마그네트 펌프 · 토출량 25~70 L/min씰리스 구조의 소형·경량 설계 · 장수명 설계
IWAKI
NRD 시리즈
마그네트 펌프 · 토출량 5.1~140 L/min씰리스 설계 · 장수명
IWAKI
MDG 시리즈
마그네트 펌프 · 마그네트 구동 기어 펌프고압 이송 · 탁월한 내식성
IWAKI
PDS 시리즈
정량 펌프 · 모터 구동 · 포토레지스트 디스펜스레지스트 대폭 절감 · 오염 방지
IWAKI
FS 시리즈
에어 구동 벨로즈 펌프 · 반도체 공정용대유량 이송 · 고압 토출
IWAKI
FW / FW-H 시리즈
에어 구동 벨로즈 펌프 · 반도체 공정용고압·장수명 벨로즈 · 고온형(FW-H) 180°C
IWAKI
FA 시리즈
에어 구동 벨로즈 펌프 · 반도체 공정용중온액용 · 소유량(FA-2)·대유량(FA-40) 2타입
IWAKI
CFD 시리즈
에어 구동 벨로즈 펌프 · 반도체 공정용웨이퍼 세정액 농도 관리에 최적 · 우수한 내약품성
IWAKI
FLP 시리즈
에어 구동 벨로즈 펌프 · 반도체 공정용 · 저맥동저맥동 · 댐퍼 불필요
IWAKI
SB 시리즈
에어 구동 벨로즈 펌프 · 반도체 공정용고정밀 · 스테인리스/불소수지 접액부
IWAKI
PD-H, PDA-W
에어 구동 벨로즈 펌프 · 액세서리 · 댐퍼F 시리즈 벨로즈 펌프용 맥동 댐퍼
ALMATEC
FUTUR
특수 용도 AODD 펌프Almatec®은 1984년부터 반도체 산업의 약액 공급·순환용 특수 펌프를 제조해 왔으며, 직선 관통형(straight-…
SANWA
MA / MB 시리즈
스테인리스 마그네트 펌프 · MAGPAC 소형소형 스테인리스 마그네트 구동 펌프 (모터 출력 25~90 W).
SANWA
MSW / MHW 시리즈
스테인리스 마그네트 펌프 · MAGPAC 캐스케이드스테인리스 재생 터빈(캐스케이드) 베인 마그네트 구동 펌프 — 소유량·고양정용 (모터 출력 0.75~3.7 kW).